清潔度，作為一項有著悠久歷史的質量指標，就是指產品被污染物所污染的程度。零部件表面的污染物多為切屑、毛刺、鑄沙、焊渣、磨料等固體顆粒，這些污染物會加速零件的磨損，會堵塞元件的節流孔使元件失去調節功能，會進入滑閥間隙使閥芯卡死，會拉傷油缸內表面使泄漏增加或使輸出力減小，會損壞泵的配油盤使泵燒傷或研死。
紫外線照射后產生的熒光是一種特殊形態的冷光。當熒光分析的電子吸收了光子后能量提高，但是這種狀態并不穩定，它會馬上變回初始狀態并把吸收的能量再次釋放出來，發出熒光。
由于部分能量轉化成熱量消耗了，所以發出的光線能量降低，波長也變長了。由于玷污物的熒光特性，通過一個含紫外光波的LED燈照射，清潔度灌流清洗設備即可探測出玷污物。儀器探頭里的光電二極管負責測量UV熒光的強度。UV熒光越強表示污染程度越大，反之則越潔凈。
對于平常清潔過程中的玷污物，清潔度灌流清洗設備的參數已經設計得盡可能合適。對于特殊的檢驗要求，它也可能適合LED的波長。
由于有機物被UV光激發后具有很強的自體熒光特性，因此儀器能夠檢查出油、油脂和殘余表面活性劑的玷污物。此外，它也可能用于檢查腐蝕或者已知厚度的蠟層。
清潔度灌流清洗設備的測量原理是共焦法，即激發光線和被激發而產生的光線在同一平行輻射軌跡上。因此，探頭的靈活定位和在線測量都易于實現。基于這種測試原理，對于構成中不含或者含有輕微熒光性原料的零件，儀器都可以檢測其清潔度。
